减薄; Р(20) 减薄结束后,确认 ROTATION SPEED 不为 OFF,按气锁控制开关的上部升起Р 样品座; Р(21) 直到看到样品座完全升起后,才可按 VENT 更换样品。Р(22) 平时使用完毕不须关机,这样可以确保真空系统和离子枪良好的工作状态。Р(23) 需关机时:先关紧 Ar 气体钢瓶阀,关 PIPS 总电源。Р3.2 塑性样品的制备Р 金属等延展性良好的材料可以手动磨到较薄,可以用冲压器获得φ3mm 圆片(但Р不能用超声切割!)。Р 用砂纸研磨到 40~100μm,然后直接用冲压器得到φ3mm 圆片。Р 如果样品足够薄,可以直接进行离子减薄。如果样品仍然比较厚,也可以用凹坑仪Р进行凹坑,步骤同脆性样品的制备过程。Р四.薄膜样品的制备Р 根据不同的测试需求,薄膜样品的制备分为平面样品和截面样品(如图 5 所示)。Р平面样品观察样品的膜面,截面样品观察薄膜的纵截面。Р 平面样品Р 截面样品Р Р 图 5 薄膜样品示意图Р4.1 平面样品的制备Р 平面样品是薄膜样品最常见的一种透射电镜样品,主要为观察样品膜面的微观结Р构。Р 平面样品从衬底一侧进行单面研磨、抛光及离子减薄,其样品制备与一般块体的制Р样流程相同。Р 第 9 页共 10 页Р宁波材料所公共技术服务中心透射电镜实验室Р4.2 截面样品的制备Р Р 图 6 截面样品 TEM 图Р 截面样品(图 6)常见于观察薄膜纵截面的微观结构(如薄膜厚度、各层之间界面Р等)。截面样品的制备较平面样品复杂,操作要求更为精细和小心。如图 7 所示,截面Р样品制备的第一步是样品和辅助硅片的对粘,以获得厚度 3mm 左右(透射电镜样品台Р的直径)的圆片,其余步骤按照块体样品的制备即可,过程示意图如下: Р 选样品清洁处理对粘样品按块体样品步骤Р Р Р Р 图 7 截面样品制备流程示意图Р Р 第 10 页共 10 页
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