，恢复生产需要较长的周期。 Р 另外，集成电路制造业潜在的安全卫生问题，并不亚于其它传统工业。一般Р可将集成电路制造厂常见的潜在危害状况分为三大类： Р （1）化学物质危害 集成电路制造工艺非常繁杂，使用的危险化学品也相当Р多，包括强酸、强碱、腐蚀性有机溶剂、有毒气体、自燃气体、或窒息气体等，Р如果这些危险化学物质泄漏出来，接触到人体会造成很大的伤害；也有可能因为Р这些物质产生化学变化，造成火灾爆炸等重大意外事故。 Р （2）辐射和静电危害 在集成电路制造工艺中所用的一些设备单元，例如离РР子植入机产生离子束、蚀刻机之 RF 产生器、水银蒸气灯产生的紫外线等皆有潜Р在产生游离或非游离辐射之危害[2]。如果防护措施没做好，使人体曝露在辐射中Р过量，即会伤害到人体。游离辐射对曝露的人体具伤害细胞效应，而非游离辐射Р会造成眼睛与皮肤伤害，还可能引起令人恶厌的电效应干扰重要设备的功能操Р作，或发生静电火花等。 Р （3）机械危害 集成电路制造工艺中使用机械人与自动化操作的相关设备有Р潜在发生机械危害的风险，例如设备组件的功能异常与移动部分对人员所发生的Р撞击、切割、夹卷等机械性危害。 Р 集成电路制造业的安全风险相对于传统制造业，安全风险更高，一旦发生事Р故，损失更严重，轻微的事故就可造成生产中断、财产损失甚至人员的伤害。尤Р其是火灾事故，局部性的小火灾或意外事故可能全面性的导致洁净室严重的污染Р与巨额的财产、营业中断损失[3]。因此集成电路制造企业的安全风险控制更为重Р要。 РР1.2 国内外现状 РР 20 世纪是人类安全科学技术发展和进步最为快速的百年。从安全立法到安Р全管理，从安全技术到安全工程，从安全科学到安全文化，针对生产事故、人为РР 2
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