磁性、电涡流式覆层测厚仪示值误差测量结果的不确定度评定

的评定结果。Р二、数学模型Р示值误差计算公式:Р式中:——测厚仪在某点的示值误差;Р ——该点仪器的平均测量值;Р ——标准厚度块的标准厚度值。Р方差和灵敏系数Р Р式中:Р则Р三、计算标准不确定度分量Р1、标准厚度片引入的不确定度分量РAA级标准厚度片的厚度测量结果不确定度见规程,其中k=3,根据,则Р50μm标准厚度片:Р100μm标准厚度片:Р250μm标准厚度片:Р500μm标准厚度片:Р1000μm标准厚度片:Р2000μm标准厚度片:Р2、测量力及其变动性引入的不确定度分量Р 测量力及其变动性不超过1/3F(F是十次测量力的平均值)时,对测量结果的影响可忽略不计,取Р3、仪器分辨力引入的不确定度分量Р 由仪器分辨力d引入的不确定度分量呈均匀分布,由此带来的标准不确定度为:Р Р 则0.1μm分辨力(测量范围<1000μm)时,Р 1μm分辨力(测量范围≥1000μm)时,Р4、仪器测量重复性引入的不确定度分量Р按AA级仪器测量重复性规定同一点测量10次,取极差值情况,极差系数为C≈3,不超过相应示值最大允许误差的五分之一,按正态分布计算:Р,则:Р50μm受检点:Р 100μm受检点:Р 250μm受检点:?Р 500μm受检点:Р1000μm受检点:Р 2000μm受检点:Р 在各受检点由测量重复性引入的不确定度分量大于由仪器分辨力引入的不确定度分量,则后者已经包括在重复性不确定度分量中。Р四、合成标准不确定度Р Р各不确定度分量之间不存在值得考虑的相关性。Р50μm受检点:Р100μm受检点:Р250μm受检点:Р500μm受检点:Р 1000μm受检点:Р 2000μm受检点:Р五、扩展不确定度:Р Р50μm受检点:Р 100μm受检点:Р250μm受检点:Р 500μm受检点:Р 1000μm受检点:Р 2000μm受检点:Р六、标准不确定度分量一览表