刮板细度计示值误差测量结果不确定度分析报告

3.3.1 由刮板斜槽平面平面度产生的误差为 3μm× (1/10)=0.3 μ m, 取均匀分布,则: 31u =0.3 μ m/3 =0.173 μm 3.3.2 测量位置不准确引入的不确定度分量 32u 刮槽是倾斜的, 实际测量时, 测量范围为(0~15) μm 刮板细度计, 由于定位不准确产生的误差估计不超过± 0.1 μm ,取均匀分布,则: 32u =2 × 0.1 μ m/3 =0.082 μm 3.3.3 以上分析得到的不确定度分量 3u 3u = 2 2 31 32 u u   0.191 μm 4 、合成标准不确定度 cu cu = 2 2 2 1 2 3 u u u  = 2 2 2 0.079 0.097 0.191  μ m=0.23 μm 表1 测量范围为(0~15) μm 刮板细度计的不确定度一览表 3 标准不确定度( iu ) 不确定度来源标准不确定度值/μm 灵敏度系数 1u 测量重复性 0.079 -1 2u 电感测微仪示值误差、微型测量台与刮板上平面平面度共同影响 0.097 -1 3u 刮板斜槽底平面平面度误差、测量位置 0.191 1 5 、扩展不确定度: c U k u  =0.23 μm× 2=0.46 μm≈ 0.5 μm,k =2 6 、同理评定测量范围为(0~50) μm c U k u  =0.41 μm× 2=0.82 μm≈ 0.8 μm,k =2 同理评定测量范围为(0~100) μm c U k u  =0.41 μm× 2=0.82 μm≈ 0.8 μm,k =2 同理评定测量范围为(0~150) μm c U k u  =0.56 μm× 2=1.12 μm≈ 1.1 μm,k =2