-2 波谱仪和能谱仪各有什么优缺点波谱仪和能谱仪各有什么优缺点波谱仪和能谱仪各有什么优缺点波谱仪和能谱仪各有什么优缺点? 具有以下优点(与波谱仪相比) 1 )能谱仪探测 X 射线的效率高。其灵敏度比波谱仪高约一个数量级。 2 )在同一时间对分析点内所有元素 X 射线光子的能量进行测定和计数,在几分钟内可得到定性分析结果, 而波谱仪只能逐个测量每种元素特征波长。 3 )结构简单,稳定性和重现性都很好(因为无机械传动)4) 不必聚焦, 对样品表面无特殊要求, 适于粗糙表面分析。具有以下缺点和不足: 1 )分辨率低: Si(Li) 检测器分辨率约为 160eV ;波谱仪分辨率为 5- 10eV 2) 能谱仪中因 Si(Li) 检测器的铍窗口限制了超轻元素的测量, 因此它只能分析原子序数大于 11 的元素; 而波谱仪可测定原子序数从 4到 92 间的所有元素。3) 能谱仪的 Si(Li) 探头必须保持在低温态,因此必须时时用液氮冷却。 15-6 .举例说明电子探针的三种工作方式( 点、线、面) 在显微成分分析中的应用。答: (1). 定点分析: 将电子束固定在要分析的微区上用波谱仪分析时, 改变分光晶体和探测器的位置, 即可得到分析点的 X 射线谱线; 用能谱仪分析时,几分钟内即可直接从荧光屏(或计算机)上得到微区内全部元素的谱线。(2). 线分析: 将谱仪(波、能)固定在所要测量的某一元素特征 X 射线信号(波长或能量)的位置把电子束沿着指定的方向作直线轨迹扫描,便可得到这一元素沿直线的浓度分布情况。改变位置可得到另一元素的浓度分布情况。(3). 面分析: 电子束在样品表面作光栅扫描,将谱仪(波、能)固定在所要测量的某一元素特征 X 射线信号( 波长或能量) 的位置, 此时, 在荧光屏上得到该元素的面分布图像。改变位置可得到另一元素的浓度分布情况。也是用 X 射线调制图像的方法。
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