了广泛的应用,也成为一个趋势。和传统的伺服电机加滚珠丝杠不同,在直线电机与机床工作台之间,没有直接的机械联系, 而是依靠磁性驱动作用, 从而实现机床进给系统的零传动, 极大地减小了各种传动误差。 4.4 在线监测与误差补偿问题现在国外生产的超精密机床,都装有在线检测系统,检测机床运动部件的位移,并和金陵科技学院论文第4章超精密机床第 7页精密数控系统组成精密反馈闭环控制系统,以保证加工的尺寸精度。现在超精密机床的在线检测系统大部分都是使用双路双频激光干涉测距仪,因为它有很高的测量分辨率和测量精度,使用分光镜容易实现多路测量。精密检测是超精密加工的必要手段, 误差补偿是提高加工精度的有效措施。关键技术主要有几何尺寸的纳米级测量。包括测量基准的建立、测量仪器的研究表面质检测技术及其侧量仪器的研究、测量集成技术的研究、空间误差补偿技术的研究。 4.5 金刚石刀具在超精密切削技术中的应用金刚石刀具是超精密切削中的重要关键。金刚石刀具有两个比较重要的问题:一是晶面的选择,这对刀具的使用性能有着重要的关系;再就是金刚石刀具的研磨质量———切削刃钝圆半径γn ,它关系到切削变形和最小切削厚度,因而影响加工表面质量。使用单晶天然金刚石刀具加工有色金属和非金属,可以加工出超光滑的加工表面。1986 年开始日本大阪大学和美国 LLL 实验室合作进行了一项名为“超精密切削极限”的实验研究,研究结果表明,使用极锋锐的刀具和机床条件最佳的条件下,金刚石刀具的超精密切削,可以实现切削厚度为纳米级的连续稳定切削。由于金刚石硬度极高,且晶体各向异性,因此单晶金刚石刀具的刃磨极为困难。制造金刚石刀具及刃磨时都需要对晶体定向,过去的晶体定向方法主要是使用 X光晶体定向仪,仪器昂贵,且定向操作相当繁琐。哈尔滨工业大学成功开发了一种新的激光晶体定向方法,所用设备较简单,且定向操作方便,可使金刚石晶体定向大大简化。
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