0.1~0.2μm 粒子的捕集效率在99.999%以上及气流阻力在280Pa 以下的空气过滤器。Р4Р洁净度等级标准Р国家标准GB50073-2001Р式中:Cn—大于或等于要求粒径的粒子最大允许浓度(pc/m3)。? Cn 是以四舍五入至相近的整数,有效位数不超过三位数。? N—洁净度等级,数字不超出9,洁净度等级整数之间的中间? 数可以按0.1 为最小允许递增量。? D—要求的粒径(μm)。 0.1—常数,其量纲为μm。Р5Р美国联邦标准(USA Federal Standard)209E(1992年)Р1m3=35.3ft3。? 对照我国标准及美国标准可以看出,我国的3级标准与美国的1级标准相当。从而可以看出随着半导体行业从um量级向nm量级发展的过程中,洁净室等级要求也越来越高。? 但目前半导体行业中普遍采用的均为千级(6级)或万级(7级),只有局部区域的高自动化作业才要求百级(5级)甚至更高。Р6Р一般微粒粒径对比Р0.3μm 微尘粒径Р人类头发(15μm)Р肉眼可视(5μm)Р感性认知Р7Р1,000Р10,000Р外大气层Р大气层Р田园地带Р街市区Р10,000,000Р1,000,000Р100,000Р工业地带Р一般自然界气体等级Р感性认知Р8Р1.乱流式Р非单方向流方式Р空气由空调箱经风管与洁净室内之空气过滤器(HEPA)进入洁净室,并由洁净室两侧隔间墙板或高架地板回风。气流非直线型运动而呈不规则之乱流或涡流状态。此型式适用于洁净室等级1,000-100,000级。?优点:构造简单、系统建造成本低,洁净室扩充比较容易?缺点:乱流造成的微尘粒子于室内空间飘浮不易排出,易污染制程产品。另外若系统停止运转再激活,欲需达到设定要求之洁净度,往往须耗时相当长一段时间。Р洁净室之分类(按形式)Р9Р乱流式典型结构形式Р适用洁净等级?1,000-100,000级Р10
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