无尘车间管理工作培训

管理规定无尘车间管理工作培训相关术语悬浮微粒:一般指悬浮于空气中的固态和液态微粒,其粒径尺寸范围约在0.1~5μm之间。洁净度:用以表征单位体积空间内空气中所含微粒大小及数量的多少,是区分空间洁净程度的标准。气闸室:设置在洁净室出入口,阻隔室外或邻室污染气流和压差控制而设置的缓冲间。风淋室:气闸室的一种,通过安装风机、过滤网及控制系统等对入室人员进行周身吹扫通道,它是减少外来污染的有效途径之一。洁净工作服:为把工作人员产生的粒子限制在最小程度所使用的发尘量少的洁净服装。高效空气过滤器HEPA:在额定风量下,对粒径大于等于0.3μm粒子的捕集效率在99.9%以上及气流阻力在250Pa以下的空气过滤器。超高效空气过滤器:在额定风量下,对粒径0.1~0.2μm粒子的捕集效率在99.999%以上及气流阻力在280Pa以下的空气过滤器。洁净度等级标准国家标准GB50073-—大于或等于要求粒径的粒子最大允许浓度(pc/m3)。Cn是以四舍五入至相近的整数,有效位数不超过三位数。N—洁净度等级,数字不超出9,洁净度等级整数之间的中间数可以按0.1为最小允许递增量。D—要求的粒径(μm)。0.1—常数,其量纲为μm。美国联邦标准(USAFederalStandard)209E(1992年)1m3=35.3ft3。对照我国标准及美国标准可以看出,我国的3级标准与美国的1级标准相当。从而可以看出随着半导体行业从um量级向nm量级发展的过程中,洁净室等级要求也越来越高。但目前半导体行业中普遍采用的均为千级(6级)或万级(7级),只有局部区域的高自动化作业才要求百级(5级)甚至更高。一般微粒粒径对比0.3μm微尘粒径人类头发(15μm)肉眼可视(5μm)感性认知1,00010,000外大气层大气层田园地带街市区10,000,0001,000,000100,000工业地带一般自然界气体等级感性认知