改变世界的MEMS苏岩13952005050suyan@mail.njust.1、什么是MEMS2、MEMS的起源与发展1959年“There’sPlentyofRoomattheBottom”(R.Feynman)1962年第一个硅微型压力传感器问世1967年美国Westinghouse公司发明表面加工工艺2、MEMS的起源与发展1970年,美国Kulite公司研制了第一个硅加速度计样机1979年,惠普公司发明第一个微机械喷墨头1977年,美国Stanford大学首先采用各向异性蚀刻制成一种微型加速度计和第一个电容式压力传感器2、MEMS的起源与发展1982年,Nova传感器研究所的Petersen教授发表了第一篇针对该领域的综述性文章“SiliconasaMechanicalMaterial”1985年,德国Karlsruhe微结构研究所开发了LIGA技术。2、MEMS的起源与发展1987年,加州大学伯克利分校向人们展示了转子直径120μm的硅微静电马达,成为MEMS技术发展历史上一个重要的里程碑。2、MEMS的起源与发展1988年,美国出版了“小机械,大机遇”(SmallMachines,Largeopportunities)的一本小册子。1988年,Nova传感器所开始批量生产压力传感器。1989年,W.CTang等人研制了第一个侧向驱动的微型谐振器。2、MEMS的起源与发展
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