PERC电池产业化技术介绍

高效晶硅PERC电池产业化技术Р1.PERC技术简介Р常规电池背面的光学和电学损失制约了效率的提升。?PERC技术提升效率机制——降低背面电学复合+增加内部光学反射。Р2.PERC电池结构Р从结构上看,PERC电池仅比常规电池多一个背钝化层,氧化铝是目前产业化最好的钝化介质膜。Р正面金属电极Р正面镀膜Р磷扩散制PN结Р全铝背场Р背面金属电极Р背面钝化叠层Р局部铝背场Р3.PERC电池生产流程Р增加2道工序Р双面制绒Р管式扩散Р背刻+边缘隔离Р正面镀膜Р背面钝化叠层:AlOx+SiNxР背面钝化层激光开槽Р金属化后的PERC电池Р需改进工序Р4.背面钝化技术——1Р钝化原理:场效应钝化+化学钝化?钝化效果监控:少子寿命测试Р4.背面钝化技术——2Р钝化方式的选择:PECVD。?关键设备:SiNA改造,费用￥ 1000万+/套。Р兼顾产能和效率Р5.激光开槽技术Р目的:打通背面绝缘叠层,形成背电场与硅基体的电学通路。?关键设备:武汉帝尔,费用￥ 100万+/套。?图形:选择不同的打线或打点方案,可实现相同的电池效率。Р532nm波长的纳秒级激光开线,约36um宽。Р6.背面抛光工艺Р目的:削平金字塔塔尖,减少背表面悬挂键,降低表面复合速率,增加内反射。?方法:改进现有刻蚀工艺的化学配方,在去PSG和边缘隔离的同时进行背抛工艺。?目标:化学蚀刻厚度5~6um,表面粗糙度0.3~0.5um.Р背面抛光效果, 500 ×Р7.扩散工艺匹配Р扩散工艺的改进Р匹配PERC工艺曲线Р常规扩散曲线Р改进常规扩散工艺,获得更佳的长波响应。Р8.背面局部金属化技术Р精选专用的低温浆料,配合特殊的烧结工艺,使得局部接触无空洞。Р无空洞局部接触