机电特性测量、加强性试验和失效分析?▲在进入市场后要跟踪产品用户的反馈意见,测量产品的长期可靠性?测试为MEMS的计算机辅助设计(CAD)和模拟提供了最直接的实验数据Р测试在MEMS中的地位和作用(续)РMEMS在封装测试之后才能组装在其工作的系统中,实现与宏观环境的连接,从而MEMS的特性才真正发挥出作用。?因此,测试技术除了控制整个系统的经济性外,还决定整个系统的坚固性、可靠性和维护性相关的因素。РMEMS所用材料的特性测定Р微型材料力学性质测量?膜片弓曲测量?超声法和超声显微镜法?振动法间接测量动态弹性模量?光热辐射法和光声法?电子散斑干涉术(ESPI)?材料疲劳特性测量Р微型材料力学性质测量Р日本机研所中野禅等人开发了微型三点弯曲实验机,成功地测试了跨度400μ,直径数10μ的线材弯曲刚度和弹性模量。?美国加州大学Huang等人发展了一种新型的单晶硅微尺度拉伸试验,用来研究尺度对材料力学性质的影响。Р膜片弓曲测量Р用抽真空的方法为膜片加载,使其弓曲?用压力计读出压力,显微镜测得变形?绘出力与变形曲线,从曲线中求出膜片材料的弹性模量E?用光测法测出弓底曲率变化,可以推算出内应力?本方法设备简单,但误差较大,属于间接测量Р超声法和超声显微镜法Р利用物质对超声波响应不同,可以检测材料的内部情况?丹羽登通过测定声速衰减,测定了材料密度和材料的粘弹性?佐藤等人通过超声法同时测定材料的厚度变化和声速?山中一司等人利用超声显微镜扫描方法测量材料的弹性波Р振动法间接测量动态弹性模量РK. E. Peterson用静电加载使悬臂梁产生强迫振动,用光测法检测位移响应信号,然后求出材料的弹性模量?张忠等利用动态激光散斑相干法测量振动,获得高温超导材料的小梁的前五阶频率,推算出这种材料的动态弹性模量?L. M. Zhang 等人也利用类似的振动测试方法,通过测试固有频率,测得材料的弹性模量
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