然后按 RORARION键,关闭SIO2坩埚旋转。? W为顺时针旋转,CW为逆时针旋转,镀膜时为顺时针旋转。Р点此按钮启动SIO2坩埚Р点此按钮调整SIO2坩埚转速Р此处控制SIO2电子枪参数Р必须为此按钮,为顺时针方向Р熔料Р预熔TIO2:? 1、在电脑界面按select键选择熔料膜系SO580 PRE Melting 6,在膜系中选择正确的坩埚位置,保存并关闭。? 2、点START键? 3、TIO2需熔两遍,然后点击cancel取消熔料膜系,熔料完成。Р手动启动离子源Р注意:熔料时可以手动启动中和器,注意不可启动离子源。?1.开Ar气:分别将Ar1和Ar2加到20和8РAr1РAr2Р2.启动中和器:显示屏右下角有一绿灯亮起为中和器启动成功Р手动按纽Р亮绿灯Р中和器启动按纽Р①.打开手动形式Р②.启动中和器Р③.显示屏上的显示Р手动启动离子源Р离子源启动按纽Р正常启动值为500左右Р3、启动离子源:右下脚有两绿灯亮器为离子源启动成功。?4、离子源的启动要在中和器启动后120秒才能进行;?5、如果离子源启动失败,可以通过加大Ar1进行重新启动。Р①.启动离子源Р②.显示屏上的显示Р开始镀膜Р1、选择膜系:在DELL电脑界面上,根据镜片分光要求,按select选择膜系;?2、按start键后,会弹出对话框,按continue键,继续弹出对话框,再按continue,会提示烧灯丝60s,之后等待镀膜?注意:若镀膜过程中发生报警,则首先消除报警,再查找报警原因。Р消除报警方法РMAIN? MENUР6РALARN INDICATIONРPEL STOPРALARM? RESETР查找报警原因并解决问题Р开始镀膜Р镀完膜后放气Р镀完膜后,进行正常放气。?如果电脑上自动放气按键不被锁定,只需等待自动放气Р放气.按Р等待门自动打开РCHAMBER? VENTРCHAMBER VENT
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