,在使用时跳过不用,避免镀膜过程事故的发生)Р25.某一TiO2层刚开镀3秒钟,突然发现未充氧,该如何处理?Р答:某一层发现未充氧时,要马上暂停运行中的机器,向当班负责人汇报情况。对异常情况进行处理,把没充氧的原因找到并解决。再确认之前的镀膜过程均正常后,手动开启流量计往机器内充氧10分钟左右。再次确认机器无其他异常。开始当前层继续镀膜。Р26.假设已恒温了30分钟,突然通知马上要换电,请详细说明从接到通知到开始镀膜整个处理过程. Р答:1、确认接到通知,并确定具体停电时间(正常换电,具体时间有当班负责人与相关人员共同确认)通知各机台人员统一听从安排;Р2、结束镀膜过程若正在镀膜过程中,应在当前层镀完之后,暂停镀膜过程,并记录已镀层数等其他重要信息(一定要记录当前层及当时的状态,以便来电后继续完成镀膜)。Р3、关机按照关机作业要求正常关闭镀膜机及相关配套设备,总电源一定要关闭。(关机时间要与其他机器一致)Р4、确认电源切换正常确认电源切换完毕,电源、水、气等供应正常。Р5、开机按照开机作业要求,开启镀膜机及配套设备Р6、预热扩散泵预热扩散泵的时间视停电时间的长短来定,一般为停电时间的1-2倍(有些机器能显示扩散泵的温度,根据实际温度决定预热时间)。Р7、特殊情况若在没有通知的情况下突然停电,应立刻关闭总电源,然后再逐项关闭配套设备,开机后按照机器内储存的数据接着完成镀膜过程。若停电时间过长(超过5分钟),则应启动备用冷却水泵,并检查扩散泵体外的温度,若出现烫手应立即采取降温措施(手动降温时,将带水的毛巾敷在泵体外,并经常更换掉发热的毛巾,将湿的毛巾换上去)Р27.装电子枪灯丝的过程以及要注意的问题? Р答: 安装灯丝过程:Р用竹夹子把新灯丝装到灯丝座上,压上压块稍微固定螺丝,灯丝脚要放到灯丝座凹槽内→用夹子轻压灯丝螺纹面,使得灯丝脚接触到底部,并保证灯丝螺纹均匀分布而不变形
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