技术实现微振动的高精度测量。常用的激光振动测量方法有几何光学法,如激光三角法和光强法;光纤的应用使光电振动传感器技术实用能力更加提高,如激光多普勒振动传感法、光纤与微机电振动传感法等;而干涉法则是测振的重要方法,包括传统干涉术、激光散斑干涉法、全息法等,还有近年发展起来的非线性光干涉法。这些技术的应用,使得激光振动测量的分辨率或精度在很大程度上得到提高。Р.负喂庋Х⒓す馊遣庹穹ā,随着半导体激光器、光电探测器虲性能的不断完善和发展,激光三角法在位移和物体表面的测量中得到广泛应用。激光三角法是利用几何光学成像原理,将激光器发出的光经发射透镜汇聚于被测物体表面形成入射光点,该光点通过接收透镜汇聚于光电探测器上,形成像点,使用对位置敏感的传感器就可接收到这一信息。当物体移动或物体振动时,入射光点沿入射光轴方向移动,引起像点在感光面上发生位移,从而引起光电探测器输出电信号的变化,通过信号处理可得到被测目标位移或振动信号。按入射光线与被测物表面的法线关系,又可分为直射式和斜射式两种。激光三角测振法具有结构简单,技术较成熟、非接触测量等优点,所以适用于工业现场使用,但激光三角测振法的缺点也限制了它的使用,一方面是光电探测器的灵敏度和尺寸限制了它的分辨率和测量范围,另一方面是发射透镜的焦距也限制了三角法的工作距离,不适于远距离的微小振动测量。⒐馇坎庹穹ā。光强法测振动是利用被测物相对投射光束,或反射光束相对探测光路的位置变化导致探测光强大小发生变化来探测振动的。此方法对于被测物振动的测量可以是接触式测量,也可以是非接触式测量。此外,由于光强测振法信号处理方便、结构简单、成本较低,使之可以广泛应用于各种场合。近几年,光强法与光纤的结合日益紧密,使得光强测振法的应用范围得到进一步拓展。此方法的主要局限之处在于外界环境和光源干扰对光强影响巨大,致使测量结果精度不高。而采用图激光三角测振法原理图
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