硅麦产品v10

AWINIC Technology Co. Ltd. 艾为硅麦产品介绍客户需求是艾为存在的唯一理由 AWINIC Technology Co. Ltd. 目录?硅麦的工作原理?硅麦的优势? AW8610 介绍及应用?硅麦的 Roadmap AWINIC Technology Co. Ltd. 硅麦的工作原理 AWINIC Technology Co. Ltd. 硅麦的定义?硅麦又称 MEMS 麦克风,是基于 MEMS 技术制造的麦克风,由 MEMS 声压传感器芯片、 ASIC 芯片、音腔和 RF 抑制电路组成。 MEMS 声压传感器是一个由硅振膜和硅背极板构成的微型电容器, 能将声压变化转化为电容变化,然后由 ASIC 芯片将电容变化转化为电信号,实现“声--电”转换。 AWINIC Technology Co. Ltd. 硅麦的结构 AWINIC Technology Co. Ltd. MEMS 声压传感器 AWINIC Technology Co. Ltd. MEMS 声压传感器 MEMS 剖面示意图? MEMS 声压传感器实际上是一个由硅振膜和硅背极板组成的微型电容器,硅振膜能感测声压的变化,将声压转化为电容变化。 AWINIC Technology Co. Ltd. MEMS 主要加工流程 1 AWINIC Technology Co. Ltd. MEMS 主要加工流程 2 AWINIC Technology Co. Ltd. 硅麦的工作过程?声压ΔP作用到振膜上将产生一个是使振膜移动的推力ΔF ?振膜相当于一个弹簧,将推力ΔF转化为位移量ΔX ?振膜与背极板构成一个微电容, ΔX导致微电容变化ΔC ? ASIC 将电容变化ΔC转化为ΔV ?整个感应过程: ΔP→ΔF→ΔX→ΔC→ΔV