EBSD技术原理与应用

电子背散射衍射技术原理与应用ElectronBack-Scatter(ed)Diffraction(EBSD)2014.09.17电子背散射衍射技术原理与应用EBSD技术对样品的要求及制备方法电子背散射衍射仪的构成及工作原理EBSD数据采集与处理EBSD的分析速度和分辨率EBSD花样提供的信息及其用途电子背散射衍射技术的应用EBSD技术对样品的要求及制备方法EBSD样品的要求样品能产生计算机可以识别,且能正确标定的菊池衍射花样,要求样品表面平整,无较大的应变样品的制备方法金属样品:电解抛光陶瓷样品:机械抛光+硅胶抛光金属基复合材料:离子束刻蚀电子背散射衍射仪的构成及工作原理电子背散射衍射仪的构成近年来,EBSD已成为SEM或EPMA的主要附件,并可与EDS一体化而配合使用EBSD探测器外观图电子背散射衍射仪的构成及工作原理电子背散射衍射仪的构成及控制方式SEM电子束扫描方式设置为定点模式电子束控制样品台控制电子背散射衍射仪的工作原理图电子背散射衍射仪的构成及工作原理EBSD样品的要求Beam要求EBSD样品表面平整、无较大应O变,表面法线相对入射束倾斜约70º散射电子强度随散射角的变化EBSD样品的放置电子背散射衍射仪的构成及工作原理EBSD花样的产生e-荧光屏衍射晶面迹线衍射晶面衍射圆锥2dsinθ=λEBSD菊池线单个晶面电子背散射衍射原理示意图电子背散射衍射仪的构成及工作原理EBSD花样的产生一般情况下,均可获得多晶带同时参与衍射的电子背散射衍射花样电子背散射衍射花样产生原理示意图电子背散射衍射仪的构成及工作原理EBSD花样的产生EBSD花样特征EBSD数据采集与处理EBSD数据采集与处理过程定点菊池花样选择菊池线+晶体取向标定校正花样标定Hough变换