手腕带系统或地板-Р 鞋系统进行接地,当采用地板–鞋系统时,应符合:系统的总电阻(从人体,通过鞋和Р 地板,到接地/等电位相连系统)小于 1×109 欧姆,且人体走动电压﹤100V(地板认证时Р 测试),具体见下表二: Р 表二:人员接地要求Р 人员接地之技术要求测试方法指标要求Р手腕带系统参照ANSI/ESD S1.1 ﹤3.5×107ΩР 参照ANSI/ESD STM97.1 ﹤1×109ΩР地板/鞋系统(两者都要求) Р 参照ANSI/ESD STM97.2 ﹤100V Р (3)EPA 内的设施接地要求Р (A)防静电工作台上及其周边的仪器、测试架、工具(如电批、烙铁)、防静电器具、台垫、Р 台面、地垫、腕带插孔等都应采用导线进行可靠接地,接地线连接点应该采用螺钉、焊Р 接、双线交绕的紧固连接方式,保证连接点连接可靠、接触电阻小,禁止使用鳄鱼夹、Р 挂接等不可靠的连接方式。Р (B) 防静电工作区应在合适的位置提供接地端子和双回路腕带插孔座,以便于操作者腕带Р 的插孔座到防静电线之间的电阻应小于2Ω。Р (C) 在落地设备、流水线、产品整机等上面本身应提供防静电腕带的接地插孔,通常插孔Р 的接地采用防静电地引入,但在环境不满足时,允许使用电气保护地代替防静电地。Р (D) 工作台表面的对地电阻应能保证最大对地漏电不超过5mA。Р (E) 对于直接放置静电敏感产品的表面应使用静电耗散材料制成,并进行可靠接地。其表Р 面电阻及接地电阻应该保持在1.0×104Ω≤R<1.0×109Ω。如有特殊原因必须使用导Р 体材料则需提交世纪云芯ESD项目组确认。Р (F) 防静电工作区安装和移位后,区域硬件设施的ESD各项指标应该重新测试,并保证在规Р 格之内后才能投入使用。Р (G) 所有连接电源主线的设备、仪器、工具等,都必须可靠地和电源系统安全地线相连接。Р 内部资料,禁止外泄
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