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某微电子厂房洁净室暖通空调设计原理及方法探讨

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情况。善车辆前端风扇与风扇罩之间的密封性等等,其效果Р 其根本性的解决方法就是只能通过改善车辆的将更加显著。Р 散热系统,提高空调系统冷凝器的散热,以降低系统Р 上接第页Р 表洁净室排风量洁净室为无外窗的房间,房间密闭性较好,故设Р 排风量// 台数运行情况置机械排烟系统是保证人员安全疏散的必要方法。Р 酸性排风, 三用一备—洁净厂房设计规范》规定:洁净厂房Р 碱性排风, 一用一备疏散走廊,应设置机械防排烟设施。而国家现行防火Р 溶剂排风, 一用一备规范中对工业厂房的排烟设置未作出明文规定,故参Р 酸碱排风气体必须分别经过玻璃钢淋洗塔处理考民用建筑的防排烟规范在洁净室内设置机械排烟Р 后才能排至室外。淋洗塔以化学吸收为工作原理,其系统。因主生产区面积达,故用挡烟垂壁吊Р 中有填料增加其有效吸收面积。淋洗液由喷嘴自上顶以下高将主生产区分隔为数个防烟分区,Р 而下喷洒,并可循环使用。经过处理后的排放气体须每个防烟分区最大面积不大于。防烟分区的Р 满足—国家废气排放标准》,见表。排烟量设计值以每个分区/· 计算。排烟Р 洁净室内酸碱排风的风管材料为不锈钢,内涂特氟风机可同时负担两个防烟分区,风量选型按最大防烟Р 隆,以达到防腐蚀的目的。风机采用玻璃钢离心变频分区面积每平方米。/计算。防烟分区的排烟Р 风机。由支管上的℃排烟阀控制。Р 表国家废气排放标准结束语Р 废气最大排放量// 经过一年的建设,该洁净室已于年建成投Р .Р 产。虽然其规模不是最大,但却是现今半导体工业洁Р .Р 净室设计的典型,从中有许多值得借鉴的地方。笔者Р .Р 对其空调通风设计的阐述和理解可能有许多欠妥之Р .Р 处,欢迎各位专家批评指导。Р 房审间产芝生溶慧是体及化学气参考文献Р 。其风管材料为不沈晋明Р . 微电子洁净厂.上海制冷学会二一Р锈钢,风机采用防爆型风机,并配有变频器调节马达年学术年会论文集

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