法得到工程应用。真正具有实用价值的超声电机是1982年日本新生工业的ToshiikuSashida 所研制的振动片式超声电机[18]。1983年,Sashida又提出并制造了一种行波超声电机[19],也就是现在环形行波超声电机的前身。这种电机没有齿形结构,振幅较小。在1987年,松下公司的Ishe在Sashida电机的基础上加上了齿形结构, 哈尔滨工业大学工学硕士学位论文-3- 佳能公司将其应用在相机镜头的调焦系统中[12]。从此超声电机迅速发展,进入了实用阶段。 1.2.3超声电机的分类超声电机由于设计灵活,结构多样,其分类一直以来较为模糊,尚无系统统一的划分方法[1]。从驱动原理、运动输出方式、振动模态、自由度等不同的角度对超声电机的类型做出划分[20,21],如下所示。???????????????????????????????????????????????????????????????????????行波型波的传播方式驻波型直线型运动输出方式旋转型纵振单一振动模态弯振扭振振动模态弯弯复合复合振动模态纵弯复合超声电机纵扭复合板式杆式定子结构形式环式壳体式接触式定转子接触方式非接触式单自由度自由度数多自由度国内外大多数学者都以超声电机驱动波的传播方式为主要划分标准,将其分为驻波型和行波型两种类型[22]。驻波型超声电机通过将驱动齿布置在驻波的特定位置,使驱动齿随驻波的周期振动做具有驱动作用的椭圆或斜直线运动, 通过驱动齿和转子的间断周期性接触传递动力。该类电机可以使用单相激励, 控制方法简单,出力大,但是不易实现双向驱动[10]。行波型超声电机依靠前进的弹性行波连续驱动转子[23]。行波的传播方式决定了行波型超声电机多为旋转型超声电机。实现直线运动的行波电机存在行波反射的问题,须在振子两端增加防止或吸收行波反射的装置[24],电机结构复杂,研究较少。复合模态超声电
全文预览
