可以对应到转台的转角[ 1 1 ] 。此项技术已经发展的比较成熟,目前中国计量院也采取此种方法,AT3000 自准直光管进行检测。采用两个角锥棱镜同时在转台上形成差动测量,如图 1-3所示,能够使角度测量的线性度和灵敏度有所提高,用激光干涉原理测量平面角,灵敏度可达到0.002″。Р图1-2 激光干涉小角度测量原理图Р图1-3 差动式激光干涉测角装置Р1.2.2.2 激光任意角度测量技术Р(1)环形激光任意角度测量环形激光角度测量方法是当今对旋转速度进行测量准确度最高的方法,Р相对准确度能够达到10-6。此项技术目前仅有少数国家拥有,德国和俄罗斯Р对此项技术的研究处于领先位置。环形激光角度测量方法的最大优点是能够实现自校准,不足之处是,仅能应用于动态测量,加工工艺性难度较大、成本较高,也正因为上述原因,较大的制约了环形激光器角度测量方法的工程应用[ 1 2 , 1 3 ] 。测角原理如图1-4所示,当工作台体围绕自身轴系旋转时,被测角度量具和环形激光器一同随之旋转,在被测角度量具的法线与光电自准直仪光轴重合的一瞬间,光电自准直仪发出准直时刻的脉冲信号,通过接口装置在两次脉冲信号的间隔内对环形激光脉冲读数,从而得到单位时间角度的变化范围,即实现角速度测量。此法能够在1转/秒的转速范围内,达到0.1″的测量精度。Р图1-4 环形激光器任意角度测量原理Р(2)双定值角干涉仪角度测量定值角干涉仪,其原理是利用标准的固定角度,替代迈克尔逊干涉仪中Р的测量反光镜。如图1-5所示,左边为多面棱体检定光路,右边为双定值角测量-跟踪干涉仪。双定值角干涉仪能够实现在0~360°范围内对任意角度进行高精度测量,测量误差优于0.3″。由于此种方法的角度测量系统在实现过程中,标准定值角的加工、装调工艺比较复杂,所以双定值跟踪系统的结构会更加复杂、工程实现性不佳。Р图1-5 双定值角型任意角干涉仪原理
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