机研究所沈昌炽、沈维楞等人,对回热式制冷机研究基础上,开始进行液氮机的研制厂作。1966年试制成功4L/h回热式制冷机式液氮设备,接着完成20L/h液氮设备。该所吕青山等人还提出研制四缸回热式制冷机作冷源,用于低压流程制取液氧液氮的空气分离设备。1968年完成厂样机试制,首次实现了问热式制冷机为冷源的带液氧全低压全板式的内压缩的空气分离设备。Р) p2 N# X* s5 R' {4 y U. e+ ]3 r" h p9 o" H1967年,自贡市机械一厂会同杭州制氧机研究所、七院十五所等单位,完成了75m3/h(氮)移动式空气分离设备的联合设计,于同年投入试制,1968年试制完成两台样机。1968~1973年该厂义试制成功了120m3/h(氮)移动式空气分离没备,这些设备还能同时生产6—12L/h液氧或气氧,在室内外-45℃~+45℃的气温、高海拔地区等环境下都能正常工作。Р$ P9 {1 l" _; x& g/ X& h7 Z1 Z( w% E4 v) W( e$ r' ]3 D6 bР10 氢液化设备研制(1960~1969) Р) W {; z" A; M& mР; w4 E8 d: Z- Y6 x1960年完成第一台8L/h氢液化设备制造。1961年1月在杭州制氧机研究所试验工场安装调试,于1961年10月获得成功。这些小型氢液化设备提供中国科学院低温试验所需冷源。* w% d* l" ?) {9 AР; y( h- Q; g+ n& Y1960年,指派李永康、张百春、林瑞琛等人与北京航空学院莫瑞庭等人员对液氢设备专题,开展流程分析计算工作。1961年1月确定100L/h液氢设备的设计任务。接着进行流程方案论证和设计下作。1961年3月,国家科委和一机部的稀有气体分离及液化设备会议上列入了研制计划,并清到中国科学院物理研究所洪潮生教授等人的审议,确定了流程,于