在0.4MpaР7.2 开机Р 7.2.1开机总电源打开,人机界面电源指示灯亮,人机界面显示欢迎画面Р7.2.2 如报警灯亮,蜂鸣器响,检查报警指示,按报警指示排除故障Р7.2.3 报警时点击“消声”按钮后,蜂鸣器静音Р7.3 更换储液桶Р7.3.1 药水低于最低液位时,报警塔灯红灯亮,蜂鸣器常鸣Р7.3.2 人工关闭隔膜泵,更换储液桶后开启隔膜泵Р 7.4 操作界面设定Р7.4.1 按钮绿色表示选定,红色表示未选定Р7.4.2 选择“补液”按钮,系统按照设定的参数计数补液Р7.4.3 选择“配液”按钮,系统立即执行配液工作Р7,4.4 加液工作完全完成后“配液”按钮变为红色。Р7.5 参数设定界面Р Р7.5.1 补液间隔数栏需设定间隔生产硅片数量,补1次液;或没间隔多少料篮,补液1次液。Р7.5.2 每次补液数栏需设定补液量,即每次补多少ml药水Р7.5.3 配液设定参数栏设定需要一次性添加的药水量(单位为ml)。Р 7.6 清洗程序Р7.6.1 选择清洗功能时补液阀、隔膜泵将处于常开状态Р7.6.2 为防止误操作,需先选择不工作按钮,方可选择“保养清洗”按钮,Р7.6.3 人工关闭隔膜泵,系统将排空药水Р7.6.4 将吸液管连接纯水桶,开启隔膜泵,纯水吸入储液槽Р Р7.6.5 初次使用或设备移机需循环上述步骤清洗3遍Р7.7 计量程序Р7.7.1 选择界面上的“计量调整”按钮,系统跳出权限对话框:Р Р在名称一栏输入用户名:adminР在口令一栏输入密码:***Р 7.7.2 点击解锁后进入计量调整画面Р7.7.3 准备好量杯在出口接液,选择计量控制按钮,系统执行预设的计量程序Р7.7.4 读取液体的容量,输入到对应黄色栏,(为减少误差建议测量3次,取平均值)Р附录Р附件一:配管原理图(PAF25A.102PG)Р 附件二:补液系统配线图(PAF25A.102PX)
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