连续的,有的是不连续的,它们的特性与等离子体内部的状态有着直接的关系。通过对等离子体发射出来的光谱进行分析,不仅可以测量等离子体的参数,同时还可以对工艺过程进行监控。Р一般的光谱诊断系统由单色仪、光电倍增管、放大器及记录仪等组成,如图1.6所示。辉光放电发射出来的光经过由放电室的光学窗口引入单色仪。在单色仪的出口夹缝处装有光电倍增管,将单色仪发散后的不同波长的光转换成电信号,再经过放大器放大Р后进入记录仪,其中单色仪是这个测量系统中的一个关键部件。在记录仪中装有光探测元件,可以对发射出来的光谱进行拍照。将拍照出来的光谱与已知元素的光谱线进行比较,即可以推断出等离子体中所含的成分,而根据底片的感光程度及暴光特性,则可以Р记录仪Р光电倍增管Р单色仪Р Р Р 图1.6 光谱测量系统Р推断出等离子体中电子的温度。假定两次测得不同频率(为和)处的发光强度之Р比为,则电子的温度可以由下式确定Р (1.2-4)Р(3) 微波透射测量法Р微波是一种频率很高的电磁波。它的频率范围为109~1011赫兹,波长从几个厘米到几个毫米。根据等离子体波动理论可以证明,频率为的电磁波在非磁化等离子体中传播时,波的色散关系为Р (1.2-5)Р可见,当时,电磁波在等离子体中不能传播,称这种现象为波的截止现象。利用波的截止现象可以测得电子的密度。图1.7为微波透射测量装置示意图。调整微波发生Р可调衰减器Р可调相移器Р电源Р检测器Р 等离子体Р 接收器Р微波发生器Р 图1.7 微波透射测试装置示意图Р器的发射频率,是波的传播处于临界截止状态,即。由此可以得到等离子体的密度为Р (1.2-6)Р可见,这种测量方法较为简单。
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