《掺硼、掺磷、掺砷硅单晶电阻率与掺杂剂浓度的换算规程》

6修订了精密度。Р三标准水平分析Р本标准建议为国际先进水平。Р四与有关的现行法律、法规和强制性国家标准的关系Р本标准与现行法律、法规、与现行的强制性国家标准不存在任何冲突。Р五重大分歧意见的处理经过和依据Р本标准在修订、讨论、预审过程中无重大分歧意见。Р需要说明的是,我们在编制表1-表4的表头时发现原标准中表头存在歧义,例如:“表1掺硼硅单晶掺杂剂浓度对电阻率的换算表”,有人理解是已知掺杂剂浓度,根据公式计算得到电阻率,而实际上是已知电阻率,计算得到掺杂剂浓度,其他表头也有相同的问题。因此我们认为原标准表头的文字上存在歧义,这次进行了修改,改为”表x掺硼硅单晶从掺杂剂浓度换算电阻率”,避免引起误解。Р六标准作为强制性或推荐性标准的建议Р建议本标准为推荐性的国家标准。Р七废止现行有关标准的建议Р本标准颁布实施后将替代GB/T13387-92,旧标准作废。Р八预期效果Р原国家标准修订于1992年,20年来随着硅行业的飞速发展,特别是重掺杂工艺的发展,越来越多的重掺单晶进入市场。除了硼、磷之外,掺砷、掺梯甚至掺红磷的单晶工艺已经成熟。修订前的标准只有硼、磷电阻率和掺杂剂浓度间的转换,修订后的标准涵盖了目前所有IC衬底的单晶掺杂剂范围。并将其扩展到电阻率与空穴、电子浓度的换算。Р作为硅单晶体内导电能力的描述,电阻率和掺杂剂浓度是两个不同的指标,可以由不同的方法测试得到,而它们之间又是密切相关的参数。如何简便的实现两者间的转换在实际生产中经常面临的问题。由于两者间的转换主要依据试验的经验公式,因此各种掺杂剂和电阻率之间的转换有的有共同的地方,有些又有区别。因此掌握和了解各种曲线、图表的适用范围和影响因素尤其显得重要。Р本标准是硅单晶行业的基础性标准,也是生产、科研中应用广泛和非常实用的标准。Р《掺硼、掺磷、掺砷硅单晶电阻率与掺杂剂浓度的换算规程》国家标准编制小组Р 2013.4.22