某种特定溶液中的溶解特性改变。正胶:分辨率高,在超大规模集成电路工艺中,一般只采用正胶。负胶:分辨率差, 适于加工线宽≥ 3m 的线条。掺杂:离子注入,退火,扩散;制膜:氧化:干氧氧化、湿氧氧化等; CVD : APCVD 、 LPCVD 、 PECVD ; PVD :蒸发、溅射。集成电路设计:另一重要环节,最能反映人的能动性,结合具体的电路,具体的系统,设计出各种各样的电路。掌握正确的设计方法,可以以不变应万变, 随着电路规模的增大,计算机辅助设计手段在集成电路设计中起着越来越重要的作用。根据电路功能和性能的要求,在正确选择系统配置、电路形式、器件结构、工艺方案和设计规则的情况下,尽量减小芯片面积,降低设计成本,缩短设计周期,以保证全局优化,设计出满足要求的集成电路。老师在上课中,也只是讲了少部分的集成电路知识,集成电路在当今的社会的经济发展起着重要的作用,随技术进步,建厂费用呈指数增加,这时必然出现两种趋向:各相关公司联合建厂, IBM 、 Infineon 与 UMC 的联合,将更多业务交给 Foundry ,降低成本; Motorola 已经表示到 2001 年,将有 50% 以上的产能需从外部提供;日本 Kawasaki 公司取消他们计划建设的 0.18 m 的工厂,代之以与 Foundry 的合作。而回观微电子学,微电子学是一门综合性很强的边缘学科。涉及了固体物理学、量子力学、热力学与统计物理学、材料科学、电子线路、信号处理、计算机辅助设计、测试与加工、图论、化学等多个学科。微电子学是一门发展极为迅速的学科,高集成度、低功耗、高性能、高可靠性是微电子学发展的方向。微电子学的渗透性极强,它可以是与其他学科结合而诞生出一系列新的交叉学科,例如微机电系统(MEMS) 、生物芯片等。学好我们这专业,确实需要了解很多的知识,了解一些微电子学的知识对学习本专业好很大的帮助,
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