不良、崩孔、内层板层偏等等。2)AOI首板检查频率:每批板AOI检查蚀刻首板2片。3)AOI首板检查标准:无定位(开短路、缺口)、无曝光不良/崩孔、非定位曝光开短路≤3处/片、内层板层偏同心圆不相切。4)AOI首板检查不良处理:①AOI把检查结果反馈线路工序,判定OK才能批量蚀刻;判定NG板件须检查是否曝光清洁问题,改善后重出首板;首件不合格重做次数不得超过3次,否则通知组长以上相关人员进行改善处理;②AOI首板检查NG的已曝光板件须隔离,缺点板件先显影,再退膜烘干后,从前处理开始返工处理,在备注栏写明“返工”。6.7异常品质处理缺点名称可能原因改善对策曝光不良①曝光能量过高②板翘,放置抽真空不良③板厚设置错误①适当调整能量②检查吸真空是否有异常③重新用千分尺测量板厚对偏①板材及图形变形②曝光对位参数设定异常①检查线路曝光是否异常②检查曝光参数设定开、短路①板面有脏物②干膜擦花①按要求清洁菲林②按要求检查菲林7.0设备保养7.1设备日保养序号频次保养内容保养人11次/天清洁台面周(机器初始化时进行)作业员21次/天清洁机器表面作业员31次/天检查机器是否有损坏的地方作业员41次/天记录无尘室温度和湿度作业员51次/天检查指示灯是否正常作业员61次/天初始化机器作业员71次/天检查激光状况:启动能量,寿命和电流作业员81次/天检查压缩空气内是否有水或油作业员91次/天记录压缩空气气压作业员101次/天检查PC电脑和工作站硬盘剩余空间作业员111次/天删除已经不再使用的资料作业员121次/天检查失败的靶标照片作业员131次/天从Genesis往工作站发送资料作业员7.2设备周保养项目序号频次保养内容保养人11次/周检查真空管是否有破损,检查真空值设备部21次/周检查机器内部的过滤器是否有油水设备部31次/周检查冷却器温度和水流速度设备部7.3设备月保养项目序号频次保养要求保养人
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