TFT-LCD阵列工艺介绍1主要内容一、TFT-LCD的基本构造二、ARRAY工艺简介三、阵列检查介绍2一、TFT-LCD的基本构造图1TFT-LCD液晶显示屏的构造3图2液晶盒的构造一、TFT-LCD的基本构造4二、ARRAY工艺介绍2.1阵列基板的构造和功能2.2阵列基板的制造原理2.3阵列基板的制造工艺流程52.1阵列基板的构造和功能图3ARRAY基板等效电路图6GateDriverSourceDriver图4Array面板信号传输说明2.1阵列基板的构造和功能72.1阵列基板的构造和功能图5ARRAY基板的构造DRAIN端子TFT部分栅极(GATE)漏极(DRAIN)源极(SOURCE)8图6TFT器件的基本构造GATEG-SiNxa-Sin+a-SiDRAINSOURCEP-SiNxITO像素电极GLASS接触孔G工程I工程D工程C工程PI工程2.1阵列基板的构造和功能9当Vg≤Vth时Ids=0当Vg>Vth且Vds<Vg-Vth时Ids=(W/L)•μC0{(Vg-Vth)Vds-Vds2/2}当Vg>Vth且Vds>Vg-Vth时Ids=(W/L)•μC0(Vg-Vth)2/2式中,Vth:阈值电压μ:电子迁移率C0:单位面积栅绝缘层电容VgVdVsIds2.1阵列基板的构造和功能10
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