?2.精密加工?精密加工是指加工精度在10~0.1 m,表面粗糙度Ra值在0.3~0.03 m的加工技术。如金刚车、金刚镗、研磨、珩磨、超精加工、砂带磨削、镜面磨削和冷压加工等。适用于精密机床、精密测量仪器等产品中的关键零件加工,如精密丝杠、精密齿轮、精密蜗轮、精密导轨、精密轴承等。?3.超精密加工?超精密加工是指加工精度在0.1~0.01 m,表面粗糙度Ra值在0.03~0.05 m的加工技术,如金刚石刀具超精密切削、超精密磨料加工、超精密特种加工和复合加工等。其适用于精密元件、计量标准元件、大规模和超大规模集成电路制造。目前,超精密加工精度正处在亚纳米级工艺,正在向纳米级工艺发展。?4.纳米加工?纳米加工是指加工精度高于10−3 m(纳米,1nm = 10−3 m),表面粗糙度Ra小于0.005 m的加工技术,其加工方法大多已不是传统的机械加工方法,而是诸如原子分子单位加工等方法。Р6.2 精密加工与超精密加工Р6.2.2 精密加工与超精密加工技术内涵及范畴Р精密与超精密加工按加工机理和加工方法来分,可分为去除加工、结合加工和变形加工,如表6-2所示。Р分类Р加工机理Р加工方法示例Р去除加工Р电物理加工?电化学加工?力学加工?热蒸发(扩散、溶解)Р电火花加工(电火花成形,电火花线切割)?电解加工、蚀刻、化学机械抛光?切削、磨削、研磨、抛光、超声加工、喷射加工?电子束加工、激光加工Р结合加工Р附着加工Р化学?电化学?热熔化Р化学镀、化学气相沉积?电镀、电铸?真空蒸镀、熔化镀Р注入加工Р化学?电化学?热熔化?力物理Р氧化、氮化、活性化学反映?阳极氧化?掺杂、渗碳、烧结、晶体生长?离子注入、离子束外延Р连续加工Р热物理?化学Р激光焊接、快速成形?化学粘接Р变形加工Р热流动?黏滞流动?分子定向Р精密锻造、电子束流动加工、激光流动加工?精密铸造、压铸、注塑?液晶定向
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