? 它是以微传感器、微执行器以及驱动和控制电路为基本元器件组成的、可以活动和控制的、机电合一的微机械装置。?特点:? 1、学科交叉(力学、机械、电学、光学、电磁学、生物、化学等学科)2、微型化、集成化和智能化;3、低成本批量化;4、应用广泛(军民两用)5、高新技术。?微机电系统的相关术语:? MEMS(Microelectromechanical Systems)(美国)? Micro Machine (日本)? Micro System Technology (欧洲)Р微机电系统的组成Р微机械电子系统(微机电系统)的组成:? 一般可定义为由微米和纳米加工技术制作而成的,融机、电、光、磁以及其他相关技术群为一体的,可以活动和控制的微工程系统。目前,人们泛称其为MEMS。它是以微传感器、微执行器以及驱动和控制电路为基本元器件组成的、自动化性能高的、可以活动和控制的、机电合一的微机械装置。? 用它进行的操作是极其微细的,有的操作已经到了单个细胞乃至分子范筹;有的微型敏感元件能敏感到单个原子,能进行原子量级的探测。如此细微的工作状况,用肉眼是不能分辨的,必须借助显微术或专用仪器来观察和控制。Р微机电系统的发展状况Р微机械电子系统,即微机械技术,是20世纪80年代后期国际上兴起的一项高技术。它以集成电路技术、表面加工技术和纳米精加工技术为基础,具有极大的学科交叉性,微机电系统的设计与制造涉及到设计、材料、制造、测试、控制、能源以及连接等相关技术。与传统机械系统相比,除在尺度上很小外,它还是一种高度智能化和高度集成化的系统。微机电系统的研究是制造技术上的一场革命,在21世纪的机械发展过程中将占有主导地位。? 微机械技术将是一项新兴的产业,会优先在生物、医疗、航空、航天、电子产品、过程控制及测试技术等领域获得广泛的应用。Р集成电路技术的发展Р半导体晶体管计算机Р上世纪末的微型计算机芯片
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