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微机电系统总复习

上传者:upcfxx |  格式:doc  |  页数:13 |  大小:2168KB

文档介绍
利用热传递过程完成物体之间的距离、媒介的的运动速度、材料的特性等物理参数的测量。掌握形状记忆合金、电致伸缩、磁致伸缩等几种典型智能材料的概念、现象与基本工作原理。形状记忆合金(SMA)利用应力和温度诱发相变的机理,将以在高温下定型的合金,放置在低温或常温下产生塑性变形,当环境温度升高到临界温度(相变温度)时,合金变形消失,恢复到定型时的原始状态。在恢复过程中,合金能产生与温度呈函数关系的位移或力,或二者兼备。特点:结构简单;直流、交流、或脉冲电流均可用于驱动;适于集成。加热速度可快,冷却速度依赖传导及辐射,不易控制。第五章微传感器掌握传感器定义、组成(两个部分)、按照探测物理量的分类、特征性能。传感器sensor的定义:传感器是能感受规定的被测量并按照一定的规律将其转换成可用输出信号的器件或装置。传感器的组成通常传感器由敏感元件和转换元件组成。敏感元件是指传感器中能直接感受或响应被测量的部分;转换元件是指传感器中将敏感元件感受或响应的被测量转换成适于传输或测量的电信号部分。按被测物理量的性质分类如被测物理量为温度、压力、流量、位移、速度等,则相应的传感器分别称为温度传感器、压力传感器、流量传感器、位移传感器、速度传感器等。优点:比较明确地表达了传感器的用途,便于使用者根据其用途选用。掌握压力传感器的电容、压阻、谐振传感原理;加速度传感器的电容、压阻、谐振传感原理,传感器结构及其工艺;传感器——两个部分:感受被测量(敏感元件)/转换成可用输出信号(转换元件)调节器——(电)信号AD转换/放大/调制/滤波/解调输出转换器——转换成显示、记录或执行的能量形式压力传感器主要结构特征——膜片、双固梁;按工作原理分类:1.压阻式压力传感器2.电容(静电)式压力传感器3..谐振式了解电、磁、光传感器、流动参数传感器、半导体气敏传感器的基本传感原理。思考题:w4-2试述传感器的定义和分类。

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