探针的最大优点。Р电子探针仪镜筒部分的构造大体上和扫描电子显微镜相同,只是在检测器部分使用的是X-射线谱仪,专门用来检测X-射线的特征波长或特征能量,以此来对微区的化学成分进行分析。因此,除专门的电子探针仪外,有相当一部分电子探针仪是作为附件安装在扫描电镜或透射电镜镜简上,以满足微区组织形貌、晶体结构及化学成分三位一体同位分析的需要。Р电子探针仪的结构与工作原理Р图为电子探针仪的结构示意图。电子探针的镜筒及样品室和扫描电镜并无本质上的差别。?电子探针的信号检测系统是X-射线谱仪,用来测定特征波长的谱仪叫做波长分散谱仪(WDS)或波谱仪。用来测定X-射线特征能量的谱仪叫做能量分散谱仪(EDS)或能谱仪。Р岛津EPMA-1600型电子探针Р日本岛津公司生产的型号为EPMA-1600的电子探针仪,价值人民币295万,可进行物质的定量成分分析、图象分析超微颗粒的分析。?主要功能:成分分析、显微图像分析?性能指标:分析范围B5~U92,分析精度ppmР电子探针微区成分分析的理论基础?——莫塞莱定律РH.G.J.Moseley在1914年总结发现:Р莫塞菜定律是X-射线荧光光谱分析和电子探针微区成分分析的理论基础。分析方法是使某物质发出的特征X-射线经过已知晶体进行衍射,然后算出波长,利用标准样品定出K和σ,从而根据公式确定原子序数。РK:与靶材物质主量子数有关的常数;?σ:屏蔽常数,与电子所在的壳层位置有关。Р(1). 波长分散分析法(WDS)Р在电子探针中X射线是由样品表面以下一个微米乃至纳米数量级的作用体积内激发出来的,如果这个体积中含有多种元素,则可以激发出各个相应元素的特征波长X-射线。?在样品上方水平放置一块具有适当晶面间距d的晶体,入射X-射线的波长、入射角和晶面间距三者符合布拉格方程2dsinθ=nλ,这个特征波长的X射线就会发生强烈衍射,见图。Р波长分散谱仪的工作原理
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