第二篇11-电子探针显微分析

号检测处理系统不同外,其余部分如电子光学系统、扫描系统、图像显示记录系统和真空系统、电源系统等几乎完全相同。Р扫描电镜配上能谱仪或波谱仪,就具备了电子探针仪的功能,现在许多扫描电镜都配有能谱仪或波谱仪,或两种谱仪都配有,这样,扫描电镜和电子探针就合二为一了。Р5РDept. of MSE, CQUР材料现代测试方法电子探针显微分析Р6РDept. of MSE, CQUР材料现代测试方法电子探针显微分析Р11.2 X射线波长分散谱仪Р波谱仪的基本概念РX射线波长色散谱仪实际上是X射线分光光度计。其作用是把试样在电子束的轰击下产生的特征X射线按波长不同分开,并测定和记录各种特征X射线的波长和强度。根据特征X射线的波长和强度即可对试样的元素组成进行分析。Р7РDept. of MSE, CQUР材料现代测试方法电子探针显微分析Р波谱仪的结构РX射线波长色散谱仪主要由分光晶体、X射线探测器、X射线计数和记录系统等部分组成。Р8РDept. of MSE, CQUР材料现代测试方法电子探针显微分析Р分光探测系统的基本结构和分光原理Рθ1Рθ1Р分光晶体Р探测器Р试样Р聚焦电子束Рθ2Р试样Рθ2Р波谱仪的分光探测系统由分光晶体、X射线探测器和相应的机械传动装置组成。? 由聚焦电子束激发产生的特征X射线照射到分光晶体上,波长符合布拉格方程的X射线将产生衍射进入探测器而被接收。转动分光晶体,改变θ角,可以将不同波长的特征X射线分开,同时改变探测器的位置和方向,就可把不同波长的X射线探测并记录下来。Р9РDept. of MSE, CQUР材料现代测试方法电子探针显微分析Р因为分光晶体的d值是已知的,根据分光晶体与入射X射线的夹角θ就可求出特征X射线的波长λ。Рl = 2d ·sinqР如果将分光晶体固定为某一角度,即可探测某种波长的特征X射线。Р10РDept. of MSE, CQU