方向(线形效果)追定因子间最适条件的设定因子之间关系局部交互作用重要因子的识别目的2-31-54-106以上因子(X)数反应表面实验(Response Surface Methodology)完全要因实验(Full factorial Dssign)局部实施法(Fractional Factorial Design)审查实验(Screening DOE)DOE种类低现行过程的状态高说明:考虑实验的目的和预算等来选择DOEDOE基础知识完全要因实验?定义Kn要因配置法不按因子数为N个,因子的水准数为K的实验计划法重复实验,也应该可以实施Kn个的实验次数2k要因实验是由具有2水准的K个因子构成?适合特性化/最适合化的阶段通过相对少的实验获取因子的全部资料并掌握因子的特性和符合最适合化?分析相对简单DOE基础知识完全要因实验的特性?实验因子的所有组合?可以对主效果和交互作用效果全部评价?在定义的实验领域内所有可能点上可以推断输出(反应)值?实验的误差(偏差)可在反复中获取DOE基础知识完全要因实验的基本组合?完全要因实验设计的基本步骤1) 分析问题,明确试验的目的; 2) 确定因子水准表; 3) 选择完全要因实验表并进行表头设计; 4) 制订实验计划表; 5) 进行实验,测定实验结果; 6) 对实验结果进行统计分析,得出因子的的主次关系和较优水准组合DOE基础知识完全要因实验例题?通过测定和分析后,知道影响半导体制造合格率的主要因子是温度,浓度和压力?实验目的掌握合格率与反映温度,浓度和压力的关系,选定使合格率最大化的最合适工程条件?因子的各水准A 反应温度(℃):160 ℃(-1)& 180 ℃(+1)B 浓度(%):20% (-1)& 40% (+1)C 压力(Psi):5PSI (-1)& 10PSI(+1)
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