幽剀船肌∞盯炳∞引㈣¨啊▲猚Р采川鄯ㄑ芯苛烁兆帕τ餓主吲薎.爪约癑德手实墓叵怠M肌浚显示主频率于咭馕蹲懦粱俾实脑黾印L岣叱粱俾柿小谠銮磕げ愕睦帕τ幸欢川路电压升高,附着力下降。图酒德蚀,刚着力缓慢海超过院螅阶帕ρ杆傧陆担苙,ぜ淄崖洹⑵鹌ぁV骰芈返缪够的效果。但是,沉积速率提高,莫谟αυ黾樱惺钡贾履す炅眩鸶兆帕刚犟。在脉冲多弧离子镀制备的类余刚石薄膜中存在强的内应力,内应力是影响膜层附着力的主要因素。韭畚哪谌莸淖橹桶才光学薄膜籺敌阅苁潜∧苤匾5男阅埽∧せ敌阅艿暮没抵苯庸叵薄膜在实际应用中的性能,丌展对薄膜机械性能的研究列提高薄膜的各项性能址簀匾5摹本义≯/对红外薄膜在实际应用中的需求,对中红外薄猣应力、附着力等方面进行了系统的研究。本论文主要内容安排如下:本文首先在第一章综述了国内⒅小闘;学薄膜应力和着力的研究现状,同时对本论文研究的背景、目的以及主要内容也作了介绍。在第二章中,先讨论了薄膜应力纬稍蚣氨∧びαΦ睦嘈停猿S玫募种中、薄膜的热应力进行了分析计算,探讨了薄膜内应力形成的一些机理,对愫投嗖隳げ杏嘤αΦ募扑憬辛颂致郏詈笱芯苛吮∧びαΣ饬糠矫娴哪容。第三章主要讨论了光学薄畉着类型、附着机理、附着力测量方法、影响薄籪着力的:阂找蛩匾约案纳蒲糇帕Φ姆椒ā第四章主要研究了在刁:艺条件下,各种中∧げ呐蠭.层膜的光学特性。瑋俳缭睾筛魍返缪沟墓叵幽临界载荷与脉冲频率的关系卜返缱频牢蚓崃姐】尽Р赀拧④膜材判的单层膜和多层麒的机械特性,重点研究了其应力和附着力方面毖片啪咐鹟第血章Q芯苛嗽诓煌ひ仗跫蘒粱谑ⅰ餓旧特性。第六章为本文的结尾部分,河ち跻圆穎内工作进行总结,提出了还存在的问题、不足以及有待于进一步珂壕康慕刑狻中红外光。学薄膜机械性能研究—————————————————————————————————————————————————————————————————————————一
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