纯水的系统,是厂务系统的一部分。它具有以下特性, 1. 厂务在晶元厂属于支持部门,人力有限。 2. 厂务属于微电子制造行业与其它学科的交叉学科,难以找到兼通两者的人才。 3. 晶元代工业在国内属于新兴行业, 目前国内还没有真正开展晶元厂厂务方向的研究。 因此,在现阶段,一般系统供应商都是照搬国外的设计,没有考虑到以下问题, 2 1. 中国各地的条件,如温度,水质,交通状况,相关法律法规等。 2. 厂商在中国能够提供的技术服务。 3. 中国操作人员的知识水平结构和行为模式。 另外,选用不同的厂商,会存在以下问题, 1. 欧美系厂商走在技术的最前端,系统设计较为周到,安全,但实用性较差, 价格最高。 2. 日系厂商的纯水设计可以和欧美系厂商并驾齐趋,但其余系统设计较为一般;系统设计实用性较强,价格居中。 3. 韩系和台系厂商系统设计较为粗陋,实用性也较差,但价格最低。 4. 国内厂商现在还没有能力进入这一领域。 因此,我们要在借鉴学习国外以及台湾地区晶元代工厂的先进运营经验的基础上,进行相关的系统工程的设计改善和创新以满足目前国内微电子晶元制造产业蓬勃发展的要求,故拟订该课题进行研究。本文将重点介绍纯水系统的节水设计和化学系统的改善两大方面。 1.3 厂务制程相关系统设计准则 作者认为,厂务系统的设计切不可照搬国外的设计,厂务人员应该从建厂初期就参与制程相关系统的设计和施工,力求使厂务系统符合中国人操作习惯。厂务制程相关系统应具备以下特点: 1. 稳定性 由于厂务系统是对全生产线的设备服务的,系统一旦出现故障就会造成生产的中断,损失不可估量,因此,对厂务系统来说,稳定是第一位的。系统设计要考虑充分的冗余,如 CPU(中央控制模块)必须是冗余的, 一台 CPU 有问题,系统不至于停止运行;如化学供应系统的泵是一用一备的,一台泵有问题,另一台可以接替运行。 2. 延展性
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