晶圆厂机台二次配系统简介上课讲义

tl是也是主要留可N王翔系统集成科技(苏州)份有限公母晶圆厂机台二次配电系统简介晶圆厂机台图片欣赏3.diffusion-扩散区或者称炉管区(简称D);统集成科技(苏州)份有限公司晶圆厂机台二次配电系统简介晶圆厂机台图片欣赏4.thinfilm-薄膜区(简称T);统集成科技(苏州)份有限公司晶圆厂机台二次配电系统简介晶圆厂机台图片欣赏5.其他实验、量测机台及自动存储仓库STK翔系统集成科技(苏州)份有限公司晶圆厂机台二次配电系统简介二·晶圆厂机台一般分区规划1.说明:制程段机台共分6个区,分别为E→→C&C一→P→D一C&C→T1国篇C&Ca黄C&c区光水槽薄膜区AfederalunpunishedpropertyofLelancegustrabuteK亚翔系统集成科殷份有限公句晶圆厂机台二次配电系统简介三.晶圆厂机台一般编号命名规则(TOOLID)456E2A30221.目的:用来辨识机台所处的区域及位置2.规则:七位字母和数字编码(内容说明如下1-表示机台所属部门(P:photo-黄光区,E:etch蚀刻区,T:thinfilm-薄膜区,D:diffusion-扩散区,C:C&C-洗净区)2-表示FAB区域(AorB)3~4表示工作Bay(01~16)5-表示连接符(-)cadential.unpublished6~7-表示序列号(01~99)统集成科技(苏州)份有限公司晶圆厂机台二次配电系统简介三.晶圆厂机台编号命名规则(TOOLID)3.范例如下1234567事EA0221声率统集成科技(苏州)份有限公司晶圆厂机台二次配电系统简介三.晶圆厂机台编号命名规则(TOOLID)3.范例如下FABAEQ|D中的SerialNo以每条BAY机台排列的逆时针方向增加(From01-99)ofLskDonotdupageordistribute亚翔系统集成科技(苏州)殷份有限公司