采用光栅成像原理的光栅位移传感器_蒋静琪.pdf

entsofSAWresonatorfrequencyfrompressuresensor measurenents.IEEEultrasonkssyml,1992;257 5 NomuraT.etal.ONeportSAWresonatorforsensingtigu- ids.IEEEUltrasonicsSyml,1992:299 6 WastunG,etal,SAWResonatorsasvaporsensors.IEEE Ultrasonicssyml,1990:311 7 凌明芳.抽指延迟线型SAW温度传感器.压电与声光, 1993;15(2):10 8 邓盛刚等.声表面波波导耦合双模谐振窄带滤波器.压电与声光,1994;16(5):5(收稿日期:1997年9月2日) (上接第7页)四、实验结果以上面的理论分析为基础,按图2实验装置进行实验,这里采用小功率红外LED、 HG402为光源,其光发散角为20°,波长是 0.94μm,为使LED的光输出稳定,使用恒流电路供给电源,得到的莫尔条纹信号用光敏三极管接收。以普通的镀铬复制透射计量光栅按几何像的成像原理,用25线/mm的指示光栅P 0 组成了几何型位移传感器,按衍射像的成像原理,用50线/mm指示光栅P 0与50线/ mm的标尺光栅P组成的衍射位移传感器, 实验得到两种传感器的莫尔条纹信号调制度 W与光栅间隙z的关系。见图3、图4,对接收的莫尔条纹信号进行采样,可以明显看出系统的倍频作用,从对信号的谐波分析中,表明信号质量良好。实验结果与理论取得了一致,同时进一步说明了光栅成像型位移传感器的优越性与实用的可行性,因而会得到广泛的应用。图3几何型光栅位移传感器莫尔条纹信号调制度与光栅间隙关系图4衍射型光栅位移传感器莫尔条纹信号调制度与光栅间隙关系(收稿日期:1997年7月5日) 10 仪表技术与传感器 1997年