嘈腿菡ごǜ衅鞑饬康缏对位置的变化，也就是实际位移的计数值。计数器的输出控制着一个疍转换器。～，;黄魈峁┮桓鼍髦频牡缪梗玫缪沟姆当浠糜诒碚魑灰疲制输出信号对发射电极进行激励，因此在接收电极上感应出电压，然后经有效放大，再经由解调器进行同步解调。解调器的同步控制由振荡器执行。解调后的信号送入一个控制着二进制计数器的比较器，其中，计数器的计数值表明电极间相线性函数。接收电极上的波形如图。图为一种鉴相型容栅传感器的测量电路。激励信号发生器产生的八相调制激励信号，加载到发射电极上。容栅传感器输出的位移调制信号，经过解调、放大和整形，再送入鉴相器，以检测出相位变化，供运算器处理【】。鉴相器的数据经由运算器使其与基准信号相比较、运算，然后进行公英制转换和码制转换等外围功能实现，最终氡蛔1湮F叨温耄腿胂允镜ピ!图腿菡ごǜ衅鞑饬康缏图接收电极上的信号波形迸兀疛人学硕学位论文Р．船望董一～二欢匡蠡土⋯一佑缮罄醢耘咂鞑枫菥巳鉰—彳赫潭┿蒉诶谝氅到一鼍竺竺皿皿密眩畖一飢一℃恳唬甹大、解调后，最后由滤波器去除高频分量，形成合格的待检位移信号，被送入零交叉电路，用于检测被其与基准信号之间的相位差。相位差信号就表征了动、静栅之间的相对位移。相位差信号中含有一定数量的脉冲当量，由计数器进还有与图相似的测量电路缤．尽Ｕ竦雌鞑臼敝有藕牛经分频器分频后，再由移相器产生八路各自相位差为。的交流信号，加载到传感器的发射电极上。该分频器的输出信号同时也是调制／解调器的同步时钟信号。并且，分频器的分频大小也决定着测量系统的分辨率。传感器的输出信号再经放行计数。计数器的计数定时由振荡器输出信号控制；计数器的中止由来自零交叉电路的信号控制。运算单元将计数器的输出变换成绝对值。通过显示驱动器，测量结果在液晶上显示【俊’—”铱一。本论文的工作主要围绕鉴相型容栅传感器展开。罄橱传臻器图鉴相型容栅传感器测量电路北／搜禝宦畚一霉呱膄
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