电容式位移传感器测量实验

移方向做实验可以消除测微头的回差)。 五、实验数据处理 1、将测得的实验数据填入表1-1如下所示: 表1-1电容传感器位移与输出电压值 2、根据表1-1实验数据用excel做出X-Y曲线并求得曲线的函数表达式如图1-3所示: X-Y曲线的函数表达式为V=0.1793X-2.8035.  图1-3 X-V实验曲线 3、 根据表1-1数据计算电容传感器的系统灵敏度S和非线性误差δ。 由表1-1数据及所绘制的X-V曲线可得电容传感器的系统灵敏度即曲线的斜率: S=ΔV/ΔX=0.1793mv/mm 由所得X-Y函数表达式及所测的实验数据用excel计算出各点误差如表1-2所示,可得输出V的最大误差ΔV=0.009868mv. 表1-2电容传感器位移与输出电压值及各点误差值 X(mm) 13.260  13.760  14.260  14.760  15.260 V(mv) -0.433  -0.339  -0.247  -0.153  -0.061 V'(mv) -0.425982  -0.336332  -0.246682  -0.157032  -0.067382 ΔV(mv) 0.007000  0.002668  0.000318  0.004032  0.006382   X(mm) 15.760  16.260  16.760  17.260  17.760 V(mv) 0.028  0.118  0.205  0.289  0.371V'(mv) 0.022268  0.111918  0.201568  0.291218  0.380868ΔV(mv) 0.005732  0.006082  0.003432  0.002218  0.009868  非线性误差δ=最大误差ΔV/满量程输出FSy=(0.009868mv/2000mv)×100%=0.00049%.