一套基于PLC的分布式控制系统来实现对新风空调机组、干式冷却盘管组及排风机组的自动控制,从而使洁净室温湿度及正压差等参数控制在合理范围内,减少其波动对生产工艺的影响,节能减排,并获得良好的经济效益。本论文的突出特点体现在以下几个方面:Р(1)对于温湿度的控制,优化了新风空调机组的空气处理过程,去除传统的洁净室温湿度控制的加湿和除湿模式,采用完全除湿模式,避免了在季节更替时期由加湿和除湿模式频繁切换所产生的扰动;确定露点温度作为洁净室温湿度控制参数,再通过控制干式冷却盘管组阀门的开度实现温度控制,最终得到相对湿度控制指标,其中洁净室露点温度控制采用了增量式数字PID串级控制方式;对于正压差的控制,结合了洁净室生产设备的工艺布局,采用PID串级控制的方式并提出了新风空调机组的群控策略,保证洁净室新风量的持续稳定供应;另外,新风空调内部冷热盘管的冷热源均来自具有热回收功能的中温冷冻机组,冷冻机在制冷的同时所产生的热量被回收利用,用来给新风空调的热盘管提供热源,如热量不足时再由热水锅炉补足,最大限度的实现能源节约。Р(2)控制方案中的PLC下位机系统采用罗克韦尔公司的ControlLogix 1756系列 PLC,处理器主机架和控制层网络采用双冗余结构设计,实现了控制系统硬件故障下的无扰切换,程序设计做到了结构化和标准化;PLC通讯网络采用以太网()和控制网(),以太网通过网络交换机与上位机服务器连接,实现人机交互及数据存储;控制网则负责连接远程I/O及变频器,进行数据采集和设备控制,保证控制Р系统的稳定运行。Р(3)SCADA上位机系统采用GE公司的Proficy HMI/SCADA Cimplicity (Server/Client)分布式网络架构,实现了多任务处理及多用户访问,利用服务器冗余配置及工业以太网通讯,完成了对现场设备的监控和数据的采集;增加了远程访问终端Р万方数据