椭圆偏振侧厚仪实验原理

d均是第一周期内的数。假设膜厚?Р大于d0，可用其它方法〔如干预法〕确定所在的周期数?j，膜厚是?РD=(j－1)d0+dР椭圆偏振侧厚仪实验原理..Р椭圆偏振侧厚仪实验原理..РР14 / 1014Р椭圆偏振侧厚仪实验原理..РРР五、金属复折射率的测量?Р以上讨论的主要是透明介质膜光学参数的测量，膜对光的吸收可?Р以忽略不计，因而折射率为实数。金属是导电媒质，电磁波在导电媒?Р质中传播要衰减，故各种导电媒质中都存在不同程度的吸收。理论表?Р明，金属的介电常数是复数，其折射率也是复数。现表示为????n2*=n2－ik?(25)?Р式中的实部n2并不相当于透明介质的折射率。换句话说，?n2的物?Р理意义不对应于光在真空中速度与介质中速度的比值，所以也不能从?Р它导出折射定律。式中?k称为吸收系数。?Р这里有必要说明的是，当?n2*为复数时，一般φ1和φ2也为复数。?Р折射定律在形式上仍然成立，前述的菲涅尔反射系数公式和椭偏方程?Р也成立。这时仍然可以通过法求得参量?d,n2和k，但计算过程却要繁?Р复得多。?Р本实验仅测厚金属铝的复折射率。为使计算简化，将〔?25〕式改?Р写成以下形式?РnР*Р=NР－РiNKР〔Р〕РР2РРРР26РР由于待测厚金属铝的厚度?d与光的穿透深度相比大得多，在膜层?Р第二个界面上的反射光可以忽略不计。因而可以直接引用单界面反射的匪涅尔反射系数公式〔4〕。经推算后得?Рn1sinφ1tanφ1cos2РРN≈ψ1+sin2ψcosР(27)РK≈tan2ψsinР(28)РР椭圆偏振侧厚仪实验原理..Р椭圆偏振侧厚仪实验原理..РР15 / 1015Р椭圆偏振侧厚仪实验原理..РРР公式中的n1,φ1和?的意义均与透明介质情况下相同。Р椭圆偏振侧厚仪实验原理..Р椭圆偏振侧厚仪实验原理..РР16 / 1016Р椭圆偏振侧厚仪实验原理..