够透明Р(物质Р原子序数低）； 必须具有足够的强度和刚度， 在复制过程中不致破裂或畸变；Р必须具有良Р好的导电性，耐电子束轰击Р; 最好是分子尺寸较小的物质РР-— -分辨率较高。РРР电子显微镜 (扫描电镜、透射电镜）相关参数Р(二）РРРРРР·俄歇电子РРРРРРРР如果原子内层电子能级跃迁过程中释放出来的能量不是以РРX 射线的形式释放而是用该能量Р将核外另一电子打出 ,脱离原子变为二次电子，这种二次电子叫做俄歇电子。因每一种原子РР都由自己特定的壳层能量Р,所以它们的俄歇电子能量也各有特征值，能量在Р50-1500eV 范围Р内。俄歇电子是由试样表面极有限的几个原子层中发出的，РР这说明俄歇电子信号适用与表层Р化学成分分析 .РРРРРРРР·特征 X 射线РРРРРРРР特征 X 射线试原子的内层电子受到激发以后在能级跃迁过程中直接释放的具有特征能量和РР波长的一种电磁波辐射。РX 射线一般在试样的 500nm-5m m 深处发出 .РРР·二次电子РРРРРРРР二次电子是指背入射电子轰击出来的核外电子Р.由于原子核和外层价电子间的结合能很小Р,当Р原子的核外电子从入射电子获得了大于相应的结合能的能量后，可脱离原子成为自由电子Р.Р如果这种散射过程发生在比较接近样品表层处Р,那些能量大于材料逸出功的自由电子可从样Р品表面逸出，变成真空中的自由电子，即二次电子。二次电子来自表面Р5-10nm 的区域，能Р量为 0— 50eV.它对试样表面状态非常敏感，能有效地显示试样表面的微观形貌。由于它发РР自试样表层， 入射电子还没有被多次反射，Р因此产生二次电子的面积与入射电子的照射面积РР没有多大区别 ,所以二次电子的分辨率较高，一般可达到 5— 10nm。扫描电镜的分辨率一般就是二次电子分辨率。二次电子产额随原子序数的变化不大，它主要取决与表面形貌。
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