Wh/kg-TCS；Р加热片为易耗材料，运行费用较高，有碳污染可能性。Р Р气固反应，操作压力较高，对设备密封要求很高，维修工作量大；操作系统较复杂，；氢化反应加入硅粉，有硼磷及金属杂质带入，提纯工作量大，增加精馏提纯费用（如蒸汽、电力、冷却水等消耗）；需硅粉干燥及输送系统；Р需加入催化剂。Р Р综上比较，二者各有优缺点，但低温高压冷氢化工艺耗电量低，在节能减排、降低成本方面含有一定优势。中国多晶硅新建及改、扩建单位能够依据项目标具体情况、本身优势及喜好，择优选定。Р 冷氢化关键反应式以下：РSi+ 2H2 + 3SiCl4 < 催化剂 > 4SiHCl3 （主反应）РSiCl4+Si+2H2 = 2SiH2Cl2 （副反应）Р2SiHCl3 = SiCl4+SiH2Cl2 （副反应）Р 经典冷氢化装置组成以下：РРР 一个完整冷氢化系统大致包含以下6大部分：Р 1、技术经济指标：包含，1）金属硅、催化剂、补充氢气、STC、电力消耗，2）产品质量指标，3）STC转化率，4）公用工程（氮气、冷却水、冷媒、蒸汽及导热油）；Р 2、主装置：包含，1）流化床反应器、2）急冷淋洗器，3）淋洗残液处理系统，4)气提，5）加热及换热装置；Р 3、原料系统：包含，1）硅粉输送，2）催化剂选择及制备，3）原料气体加热装置；Р 4、粗分离系统：包含，1）脱轻，2）脱重，3）TCS分离；Р 5、热能回收系统，包含：1）流化床出口氢化气热量回收，2）急冷塔出口淋洗气热能回收，氯硅烷物流热量综合利用；热能回收系统，包含：1）流化床出口氢化气热量回收，2）急冷塔出口淋洗气热能回收；Р 6、物料处理及回收系统：包含，1）淋洗残液中氯硅烷回收，2）脱重塔残液中氯硅烷回收，3）轻组分中氯硅烷回收，4）固废处理，5）氯硅烷废液处理。
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