2020年电子级盐酸分析

、韶关高科祥高新材料有限公司(GR优级纯硫酸、AR分析纯硫酸、AR分析纯盐酸、GR优级纯硫酸、双氧水、通用化学试剂等产品专业生产和销售的公司)等。四、企业标准盐酸英文名称:Hydrochloricacid分子式:HCl分子量:CAS号:7647-01-0物化性质:盐酸是一种强酸,浓盐酸具有极强的挥发性,因此盛有浓盐酸的容器打开后能在上方看见酸雾。高纯盐酸一般由工业品通过恒沸蒸馏法提纯而成。主要用途:在半导体和集成电路中用作配置晶片表面及金属涂层的酸性洗液和蚀刻液。序号项目AR级EL级UP级UP-H级1含量(%)≥36≥36-37≥36-38≥36-382色度(黑曾)≤10≤10≤10≤103灼烧残渣(以硫酸盐计)mg/kg≤5≤10≤3≤24游离氯(Cl2)mg/kg≤1≤1≤0.5≤0.45硫酸盐(SO4)mg/kg≤2≤2≤0.5≤0.46亚硫酸盐(SO3)mg/kg ≤2≤2≤0.8≤0.67磷酸盐(PO4)mg/kg //≤0.05≤0.058颗粒≥0.5μm(个/ml)//≤25≤109锡(Sn)mg/kg≤2≤0.05≤0.01≤0.000810铁(Fe)mg/kg≤0.5≤0.1≤0.01≤0.000811铜(Cu)mg/kg≤0.1≤0.05≤0.01≤0.000812砷(As)mg/kg≤0.05≤0.1≤0.03≤0.00113铅(Pb)mg/kg≤0.2≤0.05≤0.01≤0.000814外观无色透明液体无色透明液体无色透明液体无色透明液体15金属元素/优于美国SEMEC1标准,控制1μm颗粒,控制十多个金属元素,单项金属元素控制在100PPb。介于EL与UP-H之间,控制0.5μm颗粒,控制三十多个金属元素,单项金属元素控制在10~100PPb。等同于美国SEMEC8标准,控制0.3μm颗粒,控制三十多个金属元素,单项金属元素控制在1PPb以下。.