面形成高价氧化物时与玻璃的电力线结合关系图;Р c.金属表面形成低价氧化物时与玻璃的电力线结合关系图;Р d.金属表面没有被氧化时与玻璃电力线结合关系曲线。Р 由以上的分析告诉我们,在金属表面形成低价氧化层才能获得玻璃与金属的良好润湿效果。Р 1.2膨胀系数问题Р 这里所谓的膨胀系数问题则是指在熔封过程中[主要是室温至应变点(Tg)温度范围内]玻璃与金属的膨胀系数应尽可能达到一致,原则上两者膨胀系数之差Р"Δα"应不大于10%,这时,便可获得最小的封接应力(既无害应力),从而获得良好的密封效果。鉴于玻璃能承受较大的压应力,因此,在设计外壳和选择材料时,往往希望外层金属的膨胀系数略高于中间玻璃,中间玻璃的膨胀Р 系数略高于中心金属(引出线、管)即遵循α外金≥α中玻≥α内金的原则。Р 在匹配封接中,常用的封接材料是4J29柯伐合金与钼组玻璃相封接GBn97中规定4J29合金的平均线膨胀(20℃~400℃) α:4.6~5.2×10-6℃/;SJ/T10587中规定DM-305的α:48~50× 10-7/℃;规定DM-308的α:47-49×10-7/℃;有资料Р 报导:当封接温度为970Р ℃时,DM-305的润湿角为150,DM-308的润湿角为300。(从玻璃强度耐热度及TK-100点来看,DM-308玻璃略优于DM-305Р 玻璃)。Р 由以上的介绍告诉我们,选择。系数的一般原则及匹配封接可获得无有害应力的高强度封接,有助于获取良好的气密封接。Р 在失配封接中,对于α系数的选择原则是α外金α中玻<α内金,应用的是压缩封接原理即保证外部金属对中间玻璃产生较大的径向压应力(足以抵消内金属对中间玻璃所产生的径向拉应力),最终保证(极易产生漏气部位)内金属与中间玻璃的封接处达到玻Р 璃受到三向压应力,从而提高气密性。笔者在《半导体技术》1990年1期发表了《压缩封接及其应
全文预览
