放置一个石英钟罩,钟罩内放置水冷基片台,等离子体将在石英钟罩内激发。椭球形谐振腔具有诸多优异的性能,如:激发的等离子体强度和位置十分稳定,不管气压和工作的微波功率如何变化,它始终保持在基片台上方处,与基片台具有良好的接触。同时,微波与等离子体的耦合效率非常高,不需要采用多余的器件来进行整个系统的阻抗调配。虽然椭球形谐振腔相较圆柱形谐振腔更适合高功率,高压力的金刚石薄膜沉积环境。但椭球形谐振腔却存在尺寸较大,并且采用石英钟罩包围基片台的方式,不利于系统的冷却等缺点,因此,在一定程度上限制了它的应用。椭球形MPCVD装置图结构图为由于微波等离子体CVD法是制备优质金刚石薄膜的主流方法,同时微波等离子体在材料制备和处理,微电子器件制造,纺织品表面改性,机械产品加工等众多领域有极为广泛的应用,国外有许多公司正在研制和生产与销售微波等离子体CVD制备金刚石膜设备,这类设备同样可以应用于微波等离子体的其他应用领域。用微波等离子体化学气相渗透(CVI)法可制备高性能的金刚石复合材料。美国Crystallume公司曾研制出一类新的合成金刚石,称为金刚石复合陶瓷,用微波等离子体制备金刚石膜的类似方法将高温高压法生产的金刚石颗粒的聚集体进行固结,能以相当低的费用生产出直径为10cm厚4mm的具有光洁平滑表面的金刚石复合体部件。近年来,美国Garnegie研究所和Alabama大学合作,用改造过的WavematMPDR313EMP型微波等离子体化学气相沉积装置制备成功人造金刚石单晶(钻石)。美国Apollo公司用类似于ASTeX公司的微波等离子体制备金刚石膜装置制造出人造金刚石单晶(钻石)并在世界各国销售,价格约为天然钻石的三分之一。这方面的进展更突出了微波等离子体方法制造金刚石膜产品的优越性和重要性。下面罗列出国外出售的MPCVD装置SEKI公司研制的MPCVD设备简介AX500MPCVD装置
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