电子工业用气体高纯氨标准表表2.3GB/T14601-2009电子级氨标准表表2.4GB/T14601-2009光电子级氨标准表表2.5GB/T14601-2009光电子级氨重金属标准表达诺尔公司目前可批量提供符合国际半导体行业标准的五个规格的产品:表2.6电子级氨水国际半导体行业标准表电子级氨水技术与市场调研报告TechnoicandMarketResearchReportofAmmoniumhydroxide(MOS)9标准金属杂质<孔径过滤器微米粒子净化环境同等标准XLSI100ppt0.05微米0.1微米100级SEMI4级(C级)SLSI1ppb0.05微米0.2微米100级SEMI3级(B级)ULSI10ppb0.05微米0.2微米100级SEMI2级VLSI10ppb0.2微米0.5微米100级SEMIVLSI级SEMI100ppb0.2微米0.5微米100级SEMI0.2-0.8微米集成电路加工工艺标准第三章、电子级氨水的生产现状与预测3.1电子级氨水生产现状及预测3.1.1电子级氨水生产发展历程我国的合成氨工业起步于20世纪30年代。….江苏达诺尔公司也是国内主要的电子级氨水生产厂家。目前电子级氨水扩大到5000吨/年。自金融危机以来,化工行业的开工率明显降低。电子级氨水的生产环境要求很高,加上金融危机的影响,没有查到近两年电子级氨水其他新建产能。国内其他各电子级氨水生产厂家的产能都不大,主要是因为电子级氨水的用量较小,目前一些厂家具有一百甚至几百吨的生产能力。目前国内有不少厂家可以规模化生产电子级氨水,由于产量主要受应用量的限制。很多厂家按需生产。3.1.2电子级氨水生产现状电子级氨水由于技术壁垒较高,实际生产厂家不多,国内较大的生产厂家以光明化工研究设计院为代表,每年产量只有几千吨。2005年,我国电子级氨水年产能力约吨,产量吨。2009年,我国电子级
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