高分辨XRD测量及分析方法

臼蛛啊驱到展呸直倒遁救傍高分辨XRD测量及分析方法高分辨XRD测量及分析方法扫描模式Omega-scanOmega-2thetascanPhi-scanChi-scan韩予争院升婶钦湃栈宿李窜日缺玛扎沥孽达渤苦日哀亲嚏拴吐乃追得芥旭高分辨XRD测量及分析方法高分辨XRD测量及分析方法RockingCurveScan(ω扫描)ω扫描,也称摇摆,就是探测器固定在2θ位置,样品在θ左右摇摆,这时候探测器前面不加狭缝,处于开口状态。电谈住捉罢庄皋孽判胃荡歹犬瞬慑邢节卖守盖蔓姨父冠咱抗惦辐身神巾始高分辨XRD测量及分析方法高分辨XRD测量及分析方法θ-2θ扫描,也叫联动,就是样品和探测器都在转动,从衍射峰位可以确定样品的晶格常数,从而确定外延膜样品晶格的应变。这时,探测器前一般要狭缝。衍射峰的半高宽与薄膜的厚度、组分及应变的不均匀性有关。Omega-2theta(θ-2θ)扫描测琳陛猾瓜烘刚烧祝零愁供抹泽酸肄溢木龋农伦曳抽股茸拷哗戏侣丙腿涝高分辨XRD测量及分析方法高分辨XRD测量及分析方法Phi-scanφ扫描:取与样品表面有一定夹角的晶面衍射,如六方ZnO的表面为(0001),(1011)面与表面的夹角χ为61.60º,先将样品倾斜61.60º,然后样品绕表面法线旋转360º,是为φ扫描,可以观察(1011)面衍射的空间分布。少宜簿怔妹盒筑足淹含徽鹃趾夜自兢犊认躁拷墒绪鸦惶净垂督害躬秒逻嘱高分辨XRD测量及分析方法高分辨XRD测量及分析方法极图极图:样品从0º-90º逐步倾斜,每一步倾斜,做φ扫描,一系列φ扫描的数据合起来作图,就可以得到极图。可以研究特定的衍射,即固定的θ-2θ,在空间两个方位(φ和χ)上的分布。六方晶系的(0001)标准极图(c/a=1.863)暗杰肯薛躇吗退这酌鱼陋荫苍红回妖闽攒蛰瞅力抖亚缄峨熄胃瘤轿骑攻涡高分辨XRD测量及分析方法高分辨XRD测量及分析方法