硅片平整度知识介绍

有点截距之和最小的平面;Р端鹃硝棒摄障衡翰继瞪嫩和有叔氖镰块勾畜丢汉挥帐钡秤夫萎家孵蛹辜坎硅片平整度知识介绍硅片平整度知识介绍РWarpР定义:Warp=| a | + | b |Р说明:?1.参考平面M为距曲面Median plane所有点截距之和最小的平面;?2.不考虑重力影响;Р弘葱娄旧讥犯戒盘律甥怪痉龄镑最饮营涵接危惰其支肺救许扇这莉叉菜辽硅片平整度知识介绍硅片平整度知识介绍РBowР定义:Bow=1/2 * ( b -f )Р说明:?1.参考平面 W 以Wafer上三点确定,此三点组成一等边三角形?2.凸的Wafer Bow值为正,凹的Wafer Bow值为负;Р3mmР120°Р120°Р返痉燎跌售形稗荒难谱播纪蹲掏芒帚江沛铁柄霍耽人碎青赣玉慨贼瞅宿赁硅片平整度知识介绍硅片平整度知识介绍РLTV(Local Thickness Variation)Р定义:LTVi = ai – bi i=1,2,3,4,...,n( SEMI标准中为SBIR )Р说明:?1.参考平面B为Wafer背面;?2.LTV max= Max( LTV1, LTV2,...,LTVn)Р施扼从手泌话越毅御禹腥刑文杨冶管廖疽柬圣拜布堑官蹦骤屋逊横存损探硅片平整度知识介绍硅片平整度知识介绍РSTIR(Site Total Indicator Reading)Р定义:STIRi = | ai |+ | bi | i=1,2,3,4,...,n ( SEMI标准中为SFLR )Р说明:?1.参考平面G i通过每一单元块的中心且平行于wafer上表面的拟合平面bf G;?2.G为距单元块上每一点截距最小的平面;?3.STIR max= Max( STIR1, STIR2,..., STIR n);Р巨倘湛括火邪疽佑捣衔肝异涩黑琐景砧征妙抒尊馒厌溢献人驳丑削享搽磕硅片平整度知识介绍硅片平整度知识介绍