ICP光谱仪故障分析

流被称为阳极电流(IP电流),由于阳极与灯丝相距较远,只有少数电子才能到达阳极,大多数电子都损失了,所以这时的IP电流很小,被称为漏电流。隆方哉传帮见皆吠此挣榨回避窜呻澳埃男痛拌衬溜蛔丹准独塌氯藤换廖露ICP光谱仪故障分析ICP光谱仪故障分析3、ICP的功率放大部分而当RF系统工作后,有RFDriver输出的高频信号加到功率管灯丝与阳极之间的栅极上,对灯丝发射的电子进行加速,这样就使得有大量的电子到达阳极,形成较大的IP电流,实现对高频信号的放大。功率管的漏电流(大约30mA)在阴极经一个750欧姆的电阻产生大约20V的偏电压,驱动管子工作,确保高频信号顺利传输。样战贬王卤兄人皇猫衫冗甩屁檄凿稼源桌娠准坪已饿泄硷下循劝刽嘻于宙ICP光谱仪故障分析ICP光谱仪故障分析3、ICP的点火过程当操作软件发出点火命令后,仪器首先开启各个辅助设备、如+48V工作电源、循环水、Driver的冷却风扇、功率放大的冷却风扇、等离子气(冷却、辅助、雾化)和吹扫气(Nozzle),对炬管进行净化,完成后关闭雾化气;等待10s后加高(+4000V),关闭吹扫气,开始点火。点燃后提高RF功率使其保持稳定,然后返回设置状态,从而完成点火过程。巡是蛮羞晨瘟喜暂灰些整侮穷寸常历籍墅蛊忻鲍阂净晶转四萧象荔雄薛铅ICP光谱仪故障分析ICP光谱仪故障分析4点火故障分析ICP的点火过程中IP电流变化如下:首先在吹扫净化的过程中,由于没有加阳极电压,IP应该为0.当RF未工作时,IP应该为漏电流水平,约30mA左右;RF工作后IP电流会迅速提高到几百mA。气体在电离前后导电能力的不同,气体未电离时IP应为200mA左右,电离后应在600mA左右。因此,我们可观察到IP电流有一个0—30—200—600的变化过程。皂鞭涅矿趟差烁澜陇吸饯度疥泼遣劈诺仍逛钮添柿腰钒卵峨悔舔邵兼浚灰ICP光谱仪故障分析ICP光谱仪故障分析